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自動化加工機臺組與應(yīng)用其的晶圓化學(xué)藥品自動傳輸系統(tǒng)

1079   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:00:52
本發(fā)明公開一種自動化加工機臺組,包含:多個加工機臺;執(zhí)行部件,包括支架及取用器,支架相鄰加工機臺,且取用器可移動地設(shè)置于支架上;視覺定位傳感器,用以感測并定位至少一化學(xué)藥品原料桶的開口的位置;至少一連接蓋,借由取用器可拆卸地連接于至少一化學(xué)藥品原料桶的開口;以及至少一連接管體,連接至少一連接蓋與各加工機臺中的供應(yīng)槽。借此,本發(fā)明的自動化加工機臺組與應(yīng)用其的晶圓化學(xué)藥品自動傳輸系統(tǒng)不需要借由人力,便可將已經(jīng)使用完畢的化學(xué)藥品原料桶與裝滿化學(xué)藥品原料的化學(xué)藥品原料桶進(jìn)行替換,因而能有效節(jié)省人力。
聲明:
“自動化加工機臺組與應(yīng)用其的晶圓化學(xué)藥品自動傳輸系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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