本發(fā)明涉及一種汽相沉積系統(tǒng),具體地,涉及一種化學(xué)束薄膜沉積設(shè)備及薄膜沉積的方法。本發(fā)明提供了一種用于對(duì)多種種類進(jìn)行真空沉積的噴嘴,所述噴嘴被分成多個(gè)四分部,每個(gè)四分部包含至少一個(gè)用于所述種類的出口,所述四分部中的每一個(gè)定義位于下方的隔間的壁,該隔間包含至少一個(gè)種類,其中兩個(gè)相鄰的隔間包含不同種類。
聲明:
“汽相沉積系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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