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化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物以及抗蝕圖案的形成方法

744   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:00:53
一種化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物,是在一個基板上形成集成電路和液晶顯示部分的基板制造用的化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物,其特征是:含有(A)樹脂成分、(C)通過放射線的照射而產(chǎn)生酸成分的化合物、和有機(jī)溶劑,具有通過由所述(C)成分所產(chǎn)生的酸成分的作用而在堿水溶液中的溶解性增大的性質(zhì),該光致抗蝕劑組合物中所含的固體成分的、通過凝膠滲透色譜法測定的聚苯乙烯換算重均分子量(Mw)在3000~100000的范圍內(nèi)。根據(jù)本發(fā)明可提供滿足對于在1個基板上形成集成電路和液晶顯示部分的系統(tǒng)LCD的制造用所要求的耐熱性、分辨力、線性、和DOF特性,同時具有良好的感度的光致抗蝕劑組合物及抗蝕圖案的形成方法。
聲明:
“化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物以及抗蝕圖案的形成方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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