本發(fā)明提供一種用于化學(xué)氣相沉積工藝的噴淋頭和改善化學(xué)氣相沉積工藝的均勻性的方法,所述噴淋頭用于向襯底提供反應(yīng)氣體,所述噴淋頭具有端口,所述端口具有與之對(duì)應(yīng)設(shè)置的窗口透明板,所述窗口透明板作為觀察通道或測(cè)試通道,通過所述窗口透明板對(duì)化學(xué)氣相沉積工藝進(jìn)行監(jiān)控,所述窗口透明板與端口之間通有吹掃氣體,所述吹掃氣體用于防止反應(yīng)氣體在窗口透明板上發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或物理沉積。本發(fā)明使得本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠在化學(xué)氣相沉積工藝過程中對(duì)噴淋頭下方的襯底的情況進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控。
聲明:
“用于化學(xué)氣相沉積工藝的噴淋頭和改善工藝均勻性的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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