本發(fā)明公開(kāi)了一種電子級(jí)化學(xué)品采樣系統(tǒng)和方法，所述電子級(jí)化學(xué)品采樣系統(tǒng)，包括密封的通風(fēng)櫥、設(shè)置在所述通風(fēng)櫥內(nèi)的工作臺(tái)、用于向所述通風(fēng)櫥內(nèi)輸送化學(xué)品的化學(xué)品管路、設(shè)置在所述通風(fēng)櫥內(nèi)的操作裝置、進(jìn)氣管、排氣管和取樣口，所述進(jìn)氣管用于向所述通風(fēng)櫥內(nèi)持續(xù)通入潔凈空氣，所述排氣管用于排出所述通風(fēng)櫥內(nèi)的氣體，所述化學(xué)品管路上設(shè)置有閥門(mén)，所述操作裝置用于操縱放置在工作臺(tái)上的取樣瓶，控制取樣瓶容納所述化學(xué)品管路中放出的待采樣的化學(xué)品并封閉所述取樣瓶，所述取樣口用于取放所述通風(fēng)櫥內(nèi)的所述取樣瓶。本發(fā)明提供的電子級(jí)化學(xué)品采樣系統(tǒng)和方法能夠避免樣品受到環(huán)境污染，保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。