根據(jù)本發(fā)明的化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備中的金剛石修整器的修整能力識別方法包括:在利用金剛石修整器對所述化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備的研磨墊進(jìn)行一次修整后,利用所述化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備對多片硅片進(jìn)行連續(xù)的研磨;測量所述多片硅片的研磨速度,并得出所述多片硅片速度變化的趨勢線;此后,根據(jù)所得到的趨勢線識別金剛石修整器的修整能力。根據(jù)本發(fā)明的化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備中的金剛石修整器的修整能力識別方法能夠快速地精確地表示實(shí)際的金剛石修整器的修整能力。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備中的金剛石修整器的修整能力識別方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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