本發(fā)明公開了一種基于化學氣相沉積法的大面積二硫化鉬薄膜制備方法,涉及材料制備技術(shù)領(lǐng)域,包括以下步驟:步驟S1:原料準備,準備襯底、鉬源、硫源、氮氣、硒源、丙酮溶液、去離子水、氮氣槍、磁控濺射設(shè)備、雙溫區(qū)管式氣氛爐、瓷舟、氯化鉀和機械泵;步驟S2:清洗,將襯底置于丙酮溶液中清理2?4分鐘;步驟S3:預(yù)處理;步驟S4:準備工作;步驟S5:運行;步驟S6:保溫冷卻;步驟S7:檢驗。本發(fā)明具備了通過磁控濺射法和化學氣象沉積法的組合形式,使得不僅可對成膜的厚度和規(guī)格進行調(diào)整,同時可以實現(xiàn)大面積連續(xù)性的合成二硫化鉬薄膜,并可對薄膜的結(jié)構(gòu)加以控制,具有實用性更佳的效果。
聲明:
“基于化學氣相沉積法的大面積二硫化鉬薄膜制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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