本發(fā)明提供了一種制備化學(xué)氣相沉積態(tài)錸EBSD樣品的方法,從化學(xué)氣相沉積錸樣品上用電火花線切割的方法切得一塊長(zhǎng)方體,運(yùn)用導(dǎo)電鑲嵌料進(jìn)行熱鑲嵌,將鑲嵌好的樣品用砂紙由粗磨到細(xì)磨光,將細(xì)磨后的樣品用水溶性金剛石拋光膏拋光,拋光膏的稀釋液用無水乙醇;再將機(jī)械拋光后的樣品進(jìn)行電解腐蝕;最后用清水將樣品表面充分洗凈,再用洗耳球?qū)⑵浯蹈伞1景l(fā)明的有益效果是:采用本發(fā)明的機(jī)械拋光加腐蝕的方法制備EBSD樣品,操作簡(jiǎn)單、方便、設(shè)備費(fèi)用低廉;電解腐蝕所用的草酸酸性較弱,安全性系數(shù)較高;制備的EBSD樣品能夠很好的去除樣品表面機(jī)械應(yīng)力,不給表面帶來污染及組織改變,獲得高質(zhì)量的EBSD測(cè)試樣品。
聲明:
“制備化學(xué)氣相沉積態(tài)錸EBSD樣品的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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