公開一種化學(xué)機(jī)械基板研磨裝置,其可以用互不相同的溫度對(duì)多個(gè)研磨平板進(jìn)行控制?;瘜W(xué)機(jī)械基板研磨裝置包括:多個(gè)研磨平板,其包括研磨墊,所述研磨墊用于基板的研磨;多個(gè)基板載體,其設(shè)置于所述各個(gè)研磨平板,并且以與所述各個(gè)研磨墊相接觸的形式抓握所述基板;多個(gè)調(diào)節(jié)器,其設(shè)置于所述各個(gè)研磨平板上部,并對(duì)所述各個(gè)研磨墊進(jìn)行微切削;多個(gè)溫度測量部,其對(duì)所述各個(gè)研磨墊的溫度進(jìn)行測量;溫度調(diào)節(jié)部,其對(duì)所述各個(gè)研磨墊的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié);以及控制部,其將設(shè)置于所述多個(gè)研磨平板的研磨墊的溫度控制為互不相同。
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