本實(shí)用新型公開(kāi)一種便于調(diào)節(jié)化學(xué)機(jī)械拋光裝置，包括底盤(pán)，所述底盤(pán)底端的外側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有環(huán)型槽，所述環(huán)型槽的內(nèi)部滑動(dòng)連接有固定環(huán)，本實(shí)用新型所達(dá)到的有益效果是：本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置復(fù)位機(jī)構(gòu)、卡位機(jī)構(gòu)、防護(hù)結(jié)構(gòu)和增壓機(jī)構(gòu)，針對(duì)不同晶圓表面進(jìn)行拋光需要調(diào)節(jié)底盤(pán)與拋光頭之間的壓力時(shí)，能夠調(diào)節(jié)氣囊的膨脹程度，調(diào)節(jié)壓覆在底盤(pán)上的拋光頭與底盤(pán)之間的壓力，能夠調(diào)節(jié)底盤(pán)的上表面與晶圓之間的而壓力，避免在對(duì)不同晶圓進(jìn)行拋光時(shí)影響對(duì)晶圓的表面的拋光效果，通過(guò)設(shè)置卡位機(jī)構(gòu)、復(fù)位機(jī)構(gòu)和防護(hù)機(jī)構(gòu)，在需要對(duì)底盤(pán)進(jìn)行檢修或者更換時(shí)，進(jìn)行拆卸的操作簡(jiǎn)單，更換結(jié)束后，進(jìn)行安裝的操作簡(jiǎn)單，便于對(duì)底盤(pán)進(jìn)行檢修和更換，使用方便。