一種化學(xué)機(jī)械研磨系統(tǒng),包括一研磨墊,配置以研磨一基板?;瘜W(xué)機(jī)械研磨系統(tǒng)還包括一加熱系統(tǒng),配置以調(diào)節(jié)研磨墊的溫度。加熱系統(tǒng)包括與研磨墊間隔開的至少一加熱元件?;瘜W(xué)機(jī)械研磨系統(tǒng)還包括一感應(yīng)器,配置以測(cè)量研磨墊的溫度。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械研磨系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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