本發(fā)明公開了一種基于懸浮工作電極的
電化學(xué)敏感
芯片及其加工方法,其包括襯底、金屬電極薄膜的附著層、工作電極和其他電極,襯底正面中部設(shè)有腐蝕凹槽或第一腐蝕孔,金屬電極薄膜的附著層鋪設(shè)在腐蝕凹槽或第一腐蝕孔外部的襯底正面且金屬電極薄膜的附著層中心設(shè)有與腐蝕凹槽或第一腐蝕孔連通的第二腐蝕孔,工作電極中部懸浮在第二腐蝕孔上,第二腐蝕孔通過(guò)工作電極兩側(cè)的空隙與工作電極上部連通。分別基于表面微加工技術(shù)或基于雙側(cè)體微加工技術(shù),制備具有懸浮工作電極結(jié)構(gòu)的電化學(xué)敏感芯片,工作電極正反面都與電解液直接接觸,增加了工作電極參與電荷交換的有效面積,成功地提高了工作電極上的電流輸出,提高測(cè)量信噪比。
聲明:
“基于懸浮工作電極的電化學(xué)敏感芯片及加工方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)