一種用于化學(xué)氣相沉積液體原料汽化供給裝置與使用方法,其供給裝置包括儲(chǔ)液罐、電子秤、汽化室、供氣系統(tǒng)、管路、調(diào)節(jié)閥、截止閥、
真空泵和真空計(jì);其使用方法包括:1、預(yù)備階段;2、流量調(diào)節(jié)階段;3、穩(wěn)恒供氣階段;4、停機(jī)階段。本發(fā)明與現(xiàn)有的液體原料汽化供給系統(tǒng)相比,該裝置能夠準(zhǔn)確地實(shí)時(shí)測(cè)量液體原料汽化蒸汽的流量,并能根據(jù)CVD生產(chǎn)系統(tǒng)中過程工藝參數(shù)的變化,實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)控制上料閥的開度,使液態(tài)原料的汽化流量可調(diào)、可控,保持均勻,從而為化學(xué)汽相沉積(CVD)生產(chǎn)設(shè)備提供有利的液態(tài)原料汽化供給裝置。
聲明:
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我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)