本發(fā)明提供了一種化學(xué)氣相淀積裝置，包括反應(yīng)器及多個(gè)進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管的進(jìn)氣端位于所述反應(yīng)器外并連接一供氣設(shè)備，出氣端位于所述反應(yīng)器內(nèi)且能夠伸長(zhǎng)或縮短，至少兩個(gè)所述進(jìn)氣管的出氣端在豎直方向上位于所述反應(yīng)器的不同位置處。通過(guò)調(diào)整所述進(jìn)氣管的出氣端在所述反應(yīng)器內(nèi)的位置以調(diào)整所述反應(yīng)器內(nèi)的反應(yīng)氣體的分布，降低反應(yīng)器內(nèi)各處的反應(yīng)氣體濃度差，從而使同一批次的晶圓上淀積的薄膜一致性更好?；诖耍景l(fā)明還提供了一種所述化學(xué)氣相淀積裝置的調(diào)節(jié)方法，根據(jù)測(cè)試晶圓所處的位置及淀積的薄膜厚度繪制關(guān)系模型，并通過(guò)關(guān)系模型獲取反應(yīng)器內(nèi)各處反應(yīng)氣體的濃度，然后精細(xì)化地調(diào)整進(jìn)氣管出氣端的位置以降低反應(yīng)氣體的濃度差。