一種
太陽能電池用光致化學(xué)沉積裝置,包括補(bǔ)液系統(tǒng)、沉積系統(tǒng),所述補(bǔ)液系統(tǒng)包括放置反應(yīng)溶液的補(bǔ)液腔體,所述補(bǔ)液腔體內(nèi)的底部安裝有第一加熱裝置,其上部安裝有第一在線溫度監(jiān)測裝置,所述補(bǔ)液腔體上設(shè)有將液體輸送至沉積系統(tǒng)的液體輸出管道,其內(nèi)在液體輸出管道的上方設(shè)有過濾裝置,所述液體輸出管道上安裝有液體流量計(jì);所述沉積系統(tǒng)包括沉積反應(yīng)腔體,所述沉積反應(yīng)腔體的底部安裝有第二加熱裝置、鼓泡裝置、時(shí)間控制器以及循環(huán)裝置,所述沉積反應(yīng)腔體內(nèi)安裝有將硅片固定在沉積反應(yīng)腔體內(nèi)的真空吸附裝置,其上方安裝有第二在線溫度監(jiān)測裝置及光照系統(tǒng)。本發(fā)明的有益效果:可用于低成本,無損傷二氧化硅薄膜的沉積。
聲明:
“太陽能電池用光致化學(xué)沉積裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)