本實(shí)用新型公開(kāi)了一種化學(xué)機(jī)械平坦化設(shè)備,包括研磨墊,設(shè)于旋轉(zhuǎn)臺(tái)上;研磨頭,用于帶動(dòng)晶圓在研磨墊上旋轉(zhuǎn)以研磨晶圓表面;研磨液輸送臂,包括帶有出口的研磨液輸送管,用于向研磨墊上輸送研磨液;還包括,冷卻單元,用于降低研磨液輸送管內(nèi)研磨液的溫度;加熱單元,用于升高研磨液輸送管內(nèi)研磨液的溫度;調(diào)控單元,用于至少監(jiān)測(cè)研磨墊的溫度和研磨液輸送管內(nèi)研磨液的溫度,以通過(guò)冷卻單元和/加熱單元的調(diào)節(jié),使得研磨墊的溫度和研磨液輸送管出口處的研磨液溫度趨于相同。本實(shí)用新型中研磨液溫度可以快速升降雙向切換;降低能耗;提高生產(chǎn)效率。
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