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化學(xué)機(jī)械平坦化設(shè)備

903   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:03:20
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種化學(xué)機(jī)械平坦化設(shè)備,包括研磨墊,設(shè)于旋轉(zhuǎn)臺(tái)上;研磨頭,用于帶動(dòng)晶圓在研磨墊上旋轉(zhuǎn)以研磨晶圓表面;研磨液輸送臂,包括帶有出口的研磨液輸送管,用于向研磨墊上輸送研磨液;還包括,冷卻單元,用于降低研磨液輸送管內(nèi)研磨液的溫度;加熱單元,用于升高研磨液輸送管內(nèi)研磨液的溫度;調(diào)控單元,用于至少監(jiān)測(cè)研磨墊的溫度和研磨液輸送管內(nèi)研磨液的溫度,以通過(guò)冷卻單元和/加熱單元的調(diào)節(jié),使得研磨墊的溫度和研磨液輸送管出口處的研磨液溫度趨于相同。本實(shí)用新型中研磨液溫度可以快速升降雙向切換;降低能耗;提高生產(chǎn)效率。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械平坦化設(shè)備” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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化學(xué)分析
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