一種M形同軸天線915MHz微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置。包括微波入口、上圓柱諧振腔、真空石英環(huán)、M形同軸天線、下圓柱諧振腔、測溫窗口、第二調(diào)諧結(jié)構(gòu)、排氣口、第一調(diào)諧結(jié)構(gòu)、沉積臺、襯底、等離子體區(qū)、進(jìn)氣口、偏壓電極。M形同軸天線的M形頂角對微波具有強匯聚作用,可提高微波耦合效率,并強化電場和等離子體強度。真空石英環(huán)置于M形同軸天線頂部。M形同軸天線底部中心放置偏壓電極,偏壓電極無需從M形同軸天線底部進(jìn)一步突出就可形成強偏壓電場,避免偏壓電極伸出影響微波耦合;沉積臺、第一調(diào)諧結(jié)構(gòu)、第二調(diào)諧結(jié)構(gòu)均可上下運動,調(diào)諧電場和等離子體。本裝置主要用于制備單晶金剛石和多晶金剛石膜,可實現(xiàn)高功率、高或低腔壓下單一等離子體高效沉積。
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