本發(fā)明提供了一種涂層析氣成分檢測質(zhì)譜系統(tǒng)及方法，包括：涂層熱脫附解析器、帶有捕集板的中轉(zhuǎn)艙、分離定量模塊、直接接口模塊、高精度質(zhì)譜分析模塊、真空模塊以及遠(yuǎn)程測控單元；所分析的涂層樣品安裝在涂層熱脫附解析器內(nèi)，該涂層熱脫附解析器與中轉(zhuǎn)艙連接，并連接分離定量模塊使各析氣成分分離，通過高精度質(zhì)譜分析模塊分析各析氣成分的具體化學(xué)組成。本發(fā)明的涂層材料的真空熱試驗(yàn)解析成分質(zhì)譜檢測系統(tǒng)可對航天材料熱析氣中的污染多余物進(jìn)行多通道同步實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)監(jiān)測，實(shí)現(xiàn)對航天器關(guān)鍵材料析氣情況在分子水平上的判定溯源，具有靈敏度好、精度高等優(yōu)點(diǎn)。