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基于機(jī)器視覺的太陽能硅晶片顏色自動(dòng)檢測(cè)方法

921   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:03:24
本發(fā)明涉及機(jī)器視覺檢測(cè)領(lǐng)域,公開了一種通過機(jī)器視覺技術(shù)對(duì)太陽能硅晶片表面顏色缺陷進(jìn)行檢測(cè)的方法和裝置,所檢測(cè)的對(duì)象是硅晶片在經(jīng)過等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積該道工序后其表面顏色的分布信息。其分類方案是,采用圖像濾波技術(shù)、彩色圖像分割技術(shù)、彩色圖像HSI空間分析技術(shù)等對(duì)采集的圖像進(jìn)行處理分析;提取圖像的特征信息;所得信息經(jīng)過基于支持向量機(jī)與改進(jìn)的引力搜索算法相結(jié)合的模式識(shí)別方法訓(xùn)練和測(cè)試后,將硅晶片表面質(zhì)量分為良好硅晶片和缺陷硅晶片兩類;將分類結(jié)果傳送至執(zhí)行機(jī)構(gòu),控制單軸機(jī)器人取出缺陷硅片。該方法及裝置機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于維護(hù)和操作,滿足檢測(cè)要求。
聲明:
“基于機(jī)器視覺的太陽能硅晶片顏色自動(dòng)檢測(cè)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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