一種用于控制前驅(qū)物流的設(shè)備。所述設(shè)備可包括:處理器;以及存儲(chǔ)器單元,耦合至所述處理器,包括通量控制常式。所述通量控制常式可在所述處理器上運(yùn)行以監(jiān)測所述前驅(qū)物流且可包括通量計(jì)算處理器,所述通量計(jì)算處理器用以基于自用以遞送前驅(qū)物的氣體遞送系統(tǒng)的胞元接收的所檢測信號(hào)強(qiáng)度的變化而確定前驅(qū)物通量值。
聲明:
“化學(xué)沉積制程的前驅(qū)物控制技術(shù)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)