本發(fā)明公開了用于儲存和分配化學(xué)試劑和組合物,例如用于制造微電子器件產(chǎn)品的高純液體試劑和化學(xué)機(jī)械拋光劑的流體供應(yīng)系統(tǒng),該流體供應(yīng)系統(tǒng)具有在分配操作期間在所容納的液體處于或接近耗盡時檢測空或接近空的情形的能力。本發(fā)明描述了采用空檢測檢測布置的流體遞送系統(tǒng),其包括壓力傳感器,用于監(jiān)控在供料包裝和液壓伺服分配泵中間分配的材料,或監(jiān)控在周期進(jìn)度表上被補(bǔ)充的分配器中的分配室補(bǔ)充次數(shù),以將材料從分配器流到利用所分配的材料的下游設(shè)備。
聲明:
“具有空檢測能力的基于襯里的液體儲存和分配系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)