本發(fā)明涉及一種檢測(cè)裝置及方法,屬于化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)領(lǐng)域。該檢測(cè)裝置應(yīng)用于化學(xué)機(jī)械平坦化設(shè)備中,化學(xué)機(jī)械平坦化設(shè)備包括:修整器、拋光盤和設(shè)置于拋光盤上的拋光墊,修整器的執(zhí)行端上設(shè)置有金剛砂輪。檢測(cè)裝置包括:電源、測(cè)距傳感器、控制器和通信模塊。通過設(shè)置于修整器的靠近拋光墊的一側(cè)的測(cè)距傳感器來檢測(cè)修整器與金剛砂輪之間的距離;再通過控制器來對(duì)測(cè)距傳感器檢測(cè)的距離信息進(jìn)行處理,得到拋光墊的第一厚度,并將該第一厚度與預(yù)設(shè)厚度值進(jìn)行比對(duì),即可準(zhǔn)確的知道該拋光墊是否需要進(jìn)行更換,解決了傳統(tǒng)判定方法的不足,提高了晶圓拋光的質(zhì)量。
聲明:
“檢測(cè)裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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