亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 檢測(cè)裝置及方法

檢測(cè)裝置及方法

899   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:08:35
本發(fā)明涉及一種檢測(cè)裝置及方法,屬于化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)領(lǐng)域。該檢測(cè)裝置應(yīng)用于化學(xué)機(jī)械平坦化設(shè)備中,化學(xué)機(jī)械平坦化設(shè)備包括:修整器、拋光盤和設(shè)置于拋光盤上的拋光墊,修整器的執(zhí)行端上設(shè)置有金剛砂輪。檢測(cè)裝置包括:電源、測(cè)距傳感器、控制器和通信模塊。通過設(shè)置于修整器的靠近拋光墊的一側(cè)的測(cè)距傳感器來檢測(cè)修整器與金剛砂輪之間的距離;再通過控制器來對(duì)測(cè)距傳感器檢測(cè)的距離信息進(jìn)行處理,得到拋光墊的第一厚度,并將該第一厚度與預(yù)設(shè)厚度值進(jìn)行比對(duì),即可準(zhǔn)確的知道該拋光墊是否需要進(jìn)行更換,解決了傳統(tǒng)判定方法的不足,提高了晶圓拋光的質(zhì)量。
聲明:
“檢測(cè)裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國(guó)熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國(guó)微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記