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凈化間環(huán)境檢測方法

763 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:08:35

本發(fā)明提供了一種凈化間環(huán)境檢測方法，至少包括如下步驟：提供一化學放大光刻膠；然后，對所述化學放大光刻膠進行曝光及曝光后烘烤；待所述化學放大光刻膠上因曝光而產(chǎn)生的光酸與凈化間內(nèi)空氣接觸后，在所述化學放大光刻膠上形成T型結構；然后，再對所述T型結構進行數(shù)據(jù)測定。相較于現(xiàn)有技術，本發(fā)明是通過直接測量光刻膠T型形貌來檢測凈化間內(nèi)空氣中雜質對DUV光刻工藝的影響，檢測獲得的數(shù)據(jù)簡單直觀，且檢測成本較低。

聲明：

“凈化間環(huán)境檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)