本發(fā)明提供了一種渦流檢測裝置及系統(tǒng)，屬于化學(xué)拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，該渦流在線終點(diǎn)檢測裝置包括：拋光墊、渦流傳感器和導(dǎo)線；渦流傳感器設(shè)置在拋光墊內(nèi)，導(dǎo)線與渦流傳感器連接，且導(dǎo)線的外接端引出于拋光墊外部。該渦流檢測裝置解決了現(xiàn)有化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備中渦流在線終點(diǎn)檢測系統(tǒng)檢測距離長，造成的檢測信號不理想，以及檢測探頭突出拋光臺表面造成的檢測傳感器易損壞的問題。該渦流檢測系統(tǒng)包括拋光臺、信號采集處理模塊、控制裝置以及上述的渦流檢測裝置；拋光墊與拋光臺連接，渦流傳感器通過導(dǎo)線與信號采集處理模塊連接，信號采集處理模塊用以將檢測信號傳輸至控制裝置，進(jìn)而更準(zhǔn)確檢測被測物體的薄膜厚度。