本發(fā)明提供了一種檢測金屬離子含量的方法,所述方法包括以下步驟:S1、在晶圓需要檢測金屬離子含量的位置輸入能夠與晶圓的襯底發(fā)生化學反應(yīng)的第一物質(zhì),其中,所述第一物質(zhì)與所述襯底發(fā)生化學反應(yīng)生成第二物質(zhì),所述第二物質(zhì)從所述襯底的表面滲入所述襯底的內(nèi)部;S2、檢測所述第二物質(zhì)中所包含的金屬離子含量。由于所述第二物質(zhì)容納了晶圓的襯底表面所有的金屬離子及襯底內(nèi)部大部分的金屬離子,檢測出的金屬離子含量不僅包括襯底表面的金屬離子含量,而且包括滲入襯底內(nèi)部的大部分金屬離子含量,從而提高了金屬離子含量檢測的準確性。
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