本發(fā)明公開(kāi)了一種鈀納米顆粒離散薄膜檢測(cè)氫氣的方法,包括如下步驟:首先準(zhǔn)備六氟乙酰丙酮鈀(Ⅱ)、福爾馬林、石英玻璃基底、高純氮和碳支持膜;在真空環(huán)境下將六氟乙酰丙酮鈀(Ⅱ)作為前驅(qū)體通入反應(yīng)室,六氟乙酰丙酮鈀(Ⅱ)作為前驅(qū)體與石英玻璃基底表面發(fā)生化學(xué)吸附和化學(xué)反應(yīng);福爾馬林作為前驅(qū)體與已經(jīng)結(jié)合在基底的六氟乙酰丙酮鈀(Ⅱ)前驅(qū)體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。本發(fā)明能有效提高傳感薄膜對(duì)氫氣的響應(yīng)速率,并且能夠有效避免純鈀在高濃度氫氣中引起的相變現(xiàn)象,保證檢測(cè)的準(zhǔn)確性,解決了現(xiàn)有光纖氫氣傳感器中的鈀釔合金薄膜容易被空氣中氧氣毒化,導(dǎo)致薄膜起泡開(kāi)裂等引起零點(diǎn)漂移,影響了氫氣檢測(cè)準(zhǔn)確性的問(wèn)題。
聲明:
“鈀納米顆粒離散薄膜檢測(cè)氫氣的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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