本申請涉及化學氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域,具體提供了一種氣體流場均勻性檢測系統(tǒng)及方法,其包括:驅(qū)動組件;檢測盤,其包括承載臺、氣壓傳感器和至少一種氣體濃度傳感器,氣壓傳感器和氣體濃度傳感器均設(shè)置在承載臺上,氣壓傳感器用于采集生成氣壓信息,氣體濃度傳感器用于采集生成對應的原料氣體的濃度信息;控制器,與氣壓傳感器、氣體濃度傳感器和驅(qū)動組件電性連接,用于控制驅(qū)動組件間隙性地驅(qū)動承載臺旋轉(zhuǎn)預設(shè)的第一角度,還用于根據(jù)氣壓傳感器在不同位置采集生成的氣壓信息檢測混合氣體是否均勻,還用于根據(jù)氣體濃度傳感器在不同位置采集生成的濃度信息檢測對應的原料氣體是否均勻;該系統(tǒng)能夠有效地提高外延生長的膜厚均勻性。
聲明:
“氣體流場均勻性檢測系統(tǒng)及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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