本實用新型公開了一種安裝在干法刻蝕設(shè)備的反應(yīng)腔壁,用于設(shè)備的終點檢測系統(tǒng)接收光波信號,來檢測反應(yīng)腔中化學(xué)物質(zhì)變化過程的終點檢測窗口的透光片安裝結(jié)構(gòu),通過取消現(xiàn)有的使用螺釘安裝透光片的方式,在窗口主體凸出的上下邊框內(nèi)側(cè)分別開設(shè)一條卡槽,并增加透光片的寬度與卡槽配合,將透光片從窗口一側(cè)插入卡槽,即可便捷地將透光片與窗口主體安裝固定,且便于取出,實現(xiàn)對透光片的一次安裝成功,從而提高了機臺保養(yǎng)的效率和一次成功率,并可有效避免原有的安裝結(jié)構(gòu)會因安裝不當(dāng)造成透光片發(fā)生碎裂的現(xiàn)象,節(jié)約了維護(hù)保養(yǎng)的費用。
聲明:
“終點檢測窗口” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)