本發(fā)明公開一種用于異丙醇室溫快速檢測(cè)的高靈敏納米硅基氣體傳感元件及其制備方法,采用雙重金屬輔助化學(xué)刻蝕工藝,對(duì)硅納米線表面進(jìn)行粗糙化處理并有效降低硅納米線的陣列密度,實(shí)現(xiàn)氣敏響應(yīng)的微結(jié)構(gòu)改性;再經(jīng)微結(jié)構(gòu)改性的硅納米線表面均勻包覆超薄醌型聚吡咯薄膜,形成有機(jī)?無(wú)機(jī)核殼復(fù)合結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)氣敏響應(yīng)的有機(jī)異質(zhì)改性。本發(fā)明形成醌型聚吡咯?硅納米線的有機(jī)?無(wú)機(jī)特殊異質(zhì)結(jié)接觸結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)對(duì)納米硅敏感元的有效有機(jī)異質(zhì)改性。通過(guò)對(duì)硅納米線敏感元的雙重改性處理,實(shí)現(xiàn)傳感器件對(duì)異丙醇?xì)怏w的室溫高靈敏響應(yīng)。
聲明:
“用于異丙醇室溫快速檢測(cè)的高靈敏納米硅基氣體傳感元件及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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