本發(fā)明的目的在于提供一種高靈敏度的OTFT?pH傳感器的制作方法及用這種OTFT器件所做的pH驗證。它首先是采用常用的半導(dǎo)體器件的制作工藝,制備出柵極帶有開槽的TFT器件,并對這種器件按現(xiàn)有的封裝工藝進(jìn)行封裝。通過在柵極開槽的區(qū)域采用
電化學(xué)沉積電子聚合物膜,制成OTFT?pH傳感器。對制備的器件采用半導(dǎo)體特性測試儀對其在溶液中的pH敏感特性進(jìn)行測試,發(fā)現(xiàn)在溶液的pH為2到7的范圍內(nèi),OTFT器件的閾值電壓與pH之間有著良好的線性關(guān)系,其直線的斜率為0.955V/pH。比普通的ISFET器件對H+的靈敏度高出15倍。
聲明:
“高靈敏度的OTFT pH傳感器的制作及pH檢測” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)