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多柵極石墨烯場效應(yīng)晶體管傳感器陣列及多重檢測方法

668   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:20:08
本發(fā)明提出一種多柵極石墨烯場效應(yīng)晶體管傳感器陣列和它的制備方法,所述的傳感器陣列是在玻璃基板上濺射沉積圖案化的源極和漏極,氣相沉積單層石墨烯溝道,設(shè)置多個不同功能性材料修飾的柵電極;傳感器由漏極、源極和多個柵極共同組成的。所述制備方法包括如下步驟:清洗和制作玻璃基底;制備圖案化復(fù)合金電極;利用磁控濺射的射頻磁控管在玻璃薄片上依次濺射沉積圖案化的Cr/Au電極作為場效應(yīng)晶體管的源極、漏極和柵極;通過化學(xué)氣相沉積法CVD于預(yù)定厚度的銅箔上合成單層石墨烯層;將石墨烯切割成預(yù)定尺寸,利用濕化學(xué)法在去離子水中將石墨烯轉(zhuǎn)移至圖案化的源極和漏極之間的溝道上,清洗退火;封裝制作好的傳感器陣列器件。
聲明:
“多柵極石墨烯場效應(yīng)晶體管傳感器陣列及多重檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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