本實(shí)用新型提供了一種適用于單晶硅拋光片目檢的暗室,包括室倉和除塵機(jī)構(gòu),室倉包括多個(gè)隔板和推拉門,隔板為沿豎直方向設(shè)置的矩形板,多個(gè)隔板合圍成上下開口的矩形筒體,隔板的上方還設(shè)有除塵機(jī)構(gòu);除塵機(jī)構(gòu)包括風(fēng)機(jī)過濾單元、化學(xué)過濾器和離子棒,化學(xué)過濾器設(shè)置于室倉的頂部開口處,風(fēng)機(jī)過濾單元和離子棒還分別固定于化學(xué)過濾器的兩側(cè),風(fēng)機(jī)過濾單元設(shè)置于室倉的外部,離子棒設(shè)置于室倉的內(nèi)部;化學(xué)過濾器包括盒體和設(shè)置于盒體內(nèi)的活性炭,盒體的上下兩面還分別設(shè)有進(jìn)風(fēng)通孔和出風(fēng)通孔,離子棒固定于出風(fēng)通孔處。本實(shí)用新型保障了硅片不受到顆粒、AMC的污染,使目檢工作有效進(jìn)行。
聲明:
“適用于單晶硅拋光片目檢的暗室” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)