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表面清潔度測試裝置

1239 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:23:22

本實用新型公開了一種表面清潔度測試裝置，屬于半導體及晶圓、OLED等高精密加工領域的技術領域。它包括背景光源、同向光源、支架、同軸環(huán)形光源、棱鏡、棱鏡固定支架、液滴、被測試樣品和成像系統(tǒng)，棱鏡通過頂絲固定螺絲固定到棱鏡固定支架上。通過頂視、側視多視角的同一圖像中成像，實現(xiàn)了UV分析、紅外分析、表面結構分析、3D接觸角分析的有效組合測量，對于評估固體材料的物理化學性質，特別是對于客觀存在的表面粗糙度、化學多樣性和表面結構導致的表面清潔度誤判的解決，提高表面清潔度測試的精度和可靠性，均具有極大提升，在半導體、晶圓、硅片、新材料研究、仿生材料等行業(yè)具有非常高的作用，具有極高的推廣價值。

聲明：

“表面清潔度測試裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)