本發(fā)明涉及一種基于超高真空條件下?lián)]發(fā)性腐蝕性物質(zhì)薄膜沉積與催化反應(yīng)測(cè)試裝置，基于超高真空條件下?lián)]發(fā)性和腐蝕性物質(zhì)薄膜沉積裝置包含有主傳樣腔，生長(zhǎng)腔，三維樣品操縱臺(tái)，蒸發(fā)源等可用于揮發(fā)性腐蝕性物質(zhì)薄膜的沉積，腔體外置組件包含進(jìn)氣系統(tǒng)，通入沉積所需化學(xué)氣氛以及反應(yīng)測(cè)包含抽氣機(jī)組；基于超高真空條件下催化反應(yīng)測(cè)試裝置包括反應(yīng)腔和快速進(jìn)樣室，反應(yīng)腔包括溫控樣品臺(tái)，樣品加熱源較為局域可更換式，可減小反應(yīng)中背景干擾，實(shí)現(xiàn)不同溫度下的精確的催化反應(yīng)活性測(cè)試，腔體外置組件包含進(jìn)氣系統(tǒng)，可通入發(fā)生化學(xué)反應(yīng)氣。本發(fā)明適用于多種揮發(fā)性、腐蝕性物質(zhì)薄膜的制備，與多種超高真空分析儀器進(jìn)行聯(lián)結(jié)，實(shí)現(xiàn)催化劑反應(yīng)活性的精確測(cè)試。