本發(fā)明提供一種機器學(xué)習與CVD建模相結(jié)合的組分預(yù)測方法,確定反應(yīng)器的尺寸和基片形狀尺寸;建立對應(yīng)的反應(yīng)器幾何模型;為幾何區(qū)域和邊界添加材料屬性;模型網(wǎng)格剖分;選擇建立多物理場模型,并進行多物理場耦合;建立流體傳熱和層流模型;建立濃物質(zhì)傳遞模型;計算層流和流體傳熱耦合的物理場,將得到的解作為初始值計算化學(xué)和濃物質(zhì)傳遞的物理場接口,得到硼碳體系前驅(qū)體氣體反應(yīng)得到的各種中間物質(zhì)的濃度分布;分別得到不同的結(jié)果對比分析,最終得到各種沉積工藝條件下的物質(zhì)濃度分布結(jié)果;利用機器學(xué)習算法將沉積硼碳比和其聯(lián)系起來,預(yù)測不同沉積條件下沉積的硼碳比,并分析其誤差大小。本發(fā)明可準確預(yù)測沉積產(chǎn)物組分比。
聲明:
“機器學(xué)習與CVD建模相結(jié)合的組分預(yù)測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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