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MSM型多孔氧化嫁日盲探測器及其制造方法

975   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:23:25
本公開提供了一種MSM型多孔氧化嫁日盲探測器及其制造方法,其中探測器包括:外延結(jié)構(gòu)和在外延結(jié)構(gòu)表面蒸鍍的MSM電極;外延結(jié)構(gòu)包括:襯底、襯底上的u?GaN外延層和u?GaN外延層上的n?GaN外延層;在n?GaN外延層上層進行電化學(xué)腐蝕得到多孔結(jié)構(gòu)的n?GaN外延層,對多孔結(jié)構(gòu)的n?GaN外延層進行氧化處理得到多孔結(jié)構(gòu)的氧化嫁外延層;MSM電極蒸鍍在多孔結(jié)構(gòu)的氧化嫁外延層表面。本公開通過熱氧化法氧化多孔結(jié)構(gòu)的n?GaN制備多孔氧化嫁日盲探測器能夠顯著增大氧化嫁薄膜的比表面積,使更多的氧分子在多孔氧化嫁的表面發(fā)生吸附和解吸附,從而大幅度提高氧化嫁探測器的紫外探測性能。
聲明:
“MSM型多孔氧化嫁日盲探測器及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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