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深孔鍍銅加速劑的測量方法

909 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:24:12

本發(fā)明涉及一種深孔鍍銅加速劑的測量方法，包括如下步驟：步驟（1）選擇金屬電極作為工作電極，惰性金屬片為對電極，飽和甘汞電極為參比電極，組成三電極體系，選擇銅電鍍液；步驟（2）測量不含加速劑的基礎鍍液的陰極極化曲線；步驟（3）在上述基礎鍍液中加入不同濃度的加速劑，分別測量對應的陰極極化曲線；步驟（4）比較（2）和（3）的陰極極化曲線，分析所述曲線上的相關參數(shù)，獲得相關電化學參數(shù)與加速劑濃度的定量關系曲線；步驟（5）采用同樣電極體系測量實際待測定銅鍍液，得結果。本發(fā)明采用了陰極極化曲線作為測定對象，更貼近實際電鍍過程，從而對銅電鍍液管理及過程質(zhì)量控制產(chǎn)生指導作用，促進TSV電鍍銅工藝的工業(yè)化應用。

聲明：

“深孔鍍銅加速劑的測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)