本發(fā)明提供一種碲鋅鎘探測(cè)器與碲鋅鎘探測(cè)器的柵極鈍化方法,所述碲鋅鎘探測(cè)器的柵極鈍化方法包括:對(duì)制備有陽極的碲鋅鎘晶片的上表面進(jìn)行光刻處理,在陽極的表面覆蓋第一厚度的光刻膠層,將柵極露出;對(duì)碲鋅鎘晶片的上表面進(jìn)行化學(xué)拋光處理,去除柵極的表面的富碲層,基于化學(xué)拋光的反應(yīng)產(chǎn)物在柵極的表面形成高阻鈍化層,并使得陽極的表面保留第二厚度的光刻膠層;其中,第一厚度大于或等于第二厚度,第二厚度大于零。本發(fā)明處理工藝簡(jiǎn)單,能夠在保護(hù)陽極的前提下實(shí)現(xiàn)對(duì)柵極的鈍化處理,可有效降低碲鋅鎘探測(cè)器的漏電流,實(shí)現(xiàn)在較高的偏壓下對(duì)碲鋅鎘探測(cè)器進(jìn)行能譜測(cè)試,確保碲鋅鎘探測(cè)器達(dá)到較高的能譜分辨率。
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“碲鋅鎘探測(cè)器與碲鋅鎘探測(cè)器的柵極鈍化方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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