亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 用于光刻術(shù)模型校準(zhǔn)的圖案選擇

用于光刻術(shù)模型校準(zhǔn)的圖案選擇

1116   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:24:15
本發(fā)明主要涉及用于光刻模型校準(zhǔn)的圖案選擇的方法和設(shè)備。根據(jù)一些方面,本發(fā)明的圖案選擇算法可以被應(yīng)用于任何已有的候選測(cè)試圖案池。根據(jù)一些方面,本發(fā)明自動(dòng)地選擇這些測(cè)試圖案,其能夠更有效地由已有的候選測(cè)試圖案池來(lái)確定優(yōu)化的模型參數(shù)值,如與設(shè)計(jì)優(yōu)化圖案相反。根據(jù)另外的方面,根據(jù)本發(fā)明的已選擇的測(cè)試圖案組能夠激發(fā)模型公式中的所有已知的物理和化學(xué)特性,確保測(cè)試圖案的晶片數(shù)據(jù)可以將模型校準(zhǔn)推動(dòng)成優(yōu)化的參數(shù)值,其實(shí)現(xiàn)了由模型公式施加的預(yù)測(cè)精度的上邊界。
聲明:
“用于光刻術(shù)模型校準(zhǔn)的圖案選擇” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國(guó)熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開(kāi)更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)
了解更多信息請(qǐng)您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國(guó)微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記