亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 單片晶圓測試多臺(tái)設(shè)備的方法

單片晶圓測試多臺(tái)設(shè)備的方法

1067   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:25:17
本發(fā)明公開了一種單片晶圓測試多臺(tái)設(shè)備的方法,包括以下步驟:應(yīng)力測試儀對裸硅晶圓進(jìn)行應(yīng)力前置測試,獲取前置應(yīng)力值;將裸硅晶圓置入化學(xué)氣相沉積設(shè)備中,對應(yīng)力測試后的裸硅晶圓沉積氮化硅,膜厚測試儀對沉積氮化硅的硅晶圓進(jìn)行膜厚和折射率測試,獲取氮化硅膜厚和折射率作為化學(xué)氣相沉積設(shè)備測機(jī)參數(shù),以及應(yīng)力測試儀對沉積氮化硅的硅晶圓進(jìn)行后置應(yīng)力測試,獲取第一后置應(yīng)力值。本方案省去多道傳統(tǒng)檢測工藝步驟,簡化測機(jī)工藝流程,縮短了檢測周期,減少測機(jī)片的使用,提高檢測效率。
聲明:
“單片晶圓測試多臺(tái)設(shè)備的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)
了解更多信息請您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記