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單晶金剛石生長過程中的監(jiān)測裝置

829 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 07:25:18

本實用新型提供一種單晶金剛石生長過程中的監(jiān)測裝置，包括化學氣相沉積設備、厚度監(jiān)測設備和移動平臺；化學氣相沉積設備設有沉積室、沉積平臺和可視窗；可視窗用于監(jiān)測放置于沉積平臺上的金剛石，沉積平臺設于沉積室內；厚度監(jiān)測設備包括厚度監(jiān)測部件和物鏡，物鏡用于通過可視窗監(jiān)測放置于沉積平臺上的金剛石；厚度監(jiān)測部件與物鏡及移動平臺連接，用于獲得單晶金剛石表面各檢測處對應的厚度和位置數(shù)據(jù)，物鏡設于移動平臺上且朝向化學氣相沉積設備。該監(jiān)測裝置通過移動平臺和厚度監(jiān)測設備，可以實時監(jiān)測單晶金剛石厚度，一旦局部在高度上可觀測到明顯的變化，進而決定是否中斷生產，減少水、電、氣、人工等各方面的損失。

聲明：

“單晶金剛石生長過程中的監(jiān)測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)