本發(fā)明涉及一種測量硅拋光片表面銅含量的方法,所屬硅拋光片金屬含量檢測技術(shù)領(lǐng)域,包括如下操作步驟:先取兩片在晶棒上處于同一位置相鄰的硅拋光片,確保兩片硅拋光片的體銅含量是一致性,接著使用SPV法測出其中一枚硅拋光片體銅含量,記為B1。再把另一枚硅拋光片放入退火爐在高純氬氣保護下,在高溫下加熱10~20分鐘,使硅拋光片表面的銅驅(qū)入硅片體內(nèi)。然后再次使用SPV法測出高溫退火后的硅拋光片體銅含量,記為B2。最后利用SPV法測量兩片硅拋光片的體銅含量算式算出硅片表面鐵含量,硅片表面鐵含量=0.5×(B2?B1)×T。具有方法簡單、操作方便、節(jié)能環(huán)保和安全穩(wěn)定性高的優(yōu)點。解決了危險化學(xué)品使用的問題。避免了化學(xué)液的環(huán)保處理過程。
聲明:
“測量硅拋光片表面銅含量的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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