本發(fā)明涉及一種測量硅拋光片表面鐵含量的方法,所屬硅拋光片金屬含量檢測技術(shù)領(lǐng)域,包括如下操作步驟:第一步:使用SPV法測出硅拋光片體鐵含量,記為B1。第二步:把硅拋光片放入退火爐在高純氬氣保護下,在高溫下加熱10~20分鐘,使硅拋光片表面的鐵驅(qū)入硅片體內(nèi)。第三步:再次使用SPV法測出硅拋光片體鐵含量,記為B2。第四步:利用SPV法測量高溫前后兩次體鐵含量算式算出硅片表面鐵含量,硅片表面鐵含量=0.5×(B2?B1)×T。具有方法簡單、操作方便、節(jié)能環(huán)保和安全穩(wěn)定性高的優(yōu)點。解決了危險化學品使用的問題。避免了化學液的環(huán)保處理過程。
聲明:
“測量硅拋光片表面鐵含量的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)