本發(fā)明涉及一種
太陽能電池晶圓片表面金屬離子含量的測試方法,利用由1%的氫氟酸(HF)、4%的雙氧水(H2O2)和95%的水(H2O)組成的提取試劑進(jìn)行太陽能電池晶圓片表面金屬離子的提取,配合Agilent公司Agilent7700s系列電感耦合等離子體質(zhì)譜儀對(duì)太陽能電池晶圓片表面超微量金屬含量進(jìn)行檢測,利用硅片的解理特性將太陽能電池晶圓片制成矩形,并完全浸泡在提取液中,保證了硅片表面金屬離子收集的充分性,相對(duì)傳統(tǒng)的手動(dòng)VPD即化學(xué)氣相分解進(jìn)行太陽能電池晶圓片表面金屬離子的前處理方法,利用完全浸泡的方式能獲得更加穩(wěn)定的回收率,提高測試精度,本發(fā)明能實(shí)現(xiàn)太陽能電池晶圓片全元素、超微量的檢測,檢出限均低于1×109atoms/cm2。
聲明:
“太陽能電池晶圓片表面金屬離子測試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)