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用于晶圓測(cè)試的探針針尖的清潔液、清潔裝置及方法

1112   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:25:55
本發(fā)明提供一種用于晶圓測(cè)試的探針針尖的清潔液、清潔裝置及方法,該清潔裝置包括清潔槽,裝載清潔液,清潔液包括以下組分:H3PO4、HNO3和H2O,其中,H3PO4的質(zhì)量占清潔液的總質(zhì)量的88?93%,HNO3的質(zhì)量占清潔液的總質(zhì)量的3?7%,H2O的質(zhì)量占清潔液的總質(zhì)量的1?5%;加熱裝置,設(shè)置于所述清潔槽的下側(cè);溫度計(jì),設(shè)置于所述清潔槽內(nèi)。本發(fā)明采用清潔液只消耗扎在探針針尖上的鋁屑,而不會(huì)和探針的主要材料鎢發(fā)生化學(xué)反應(yīng),減小了探針的磨耗率,延長(zhǎng)了探針的壽命,降低了企業(yè)經(jīng)濟(jì)成本,提高了生產(chǎn)效益,本發(fā)明清潔探針針尖更徹底,增加產(chǎn)品一次檢測(cè)良率,減少機(jī)臺(tái)重測(cè)的時(shí)間,提高了工作效率。
聲明:
“用于晶圓測(cè)試的探針針尖的清潔液、清潔裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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