本發(fā)明公開了一種基于納米壓電材料的實(shí)時(shí)血壓監(jiān)測傳感器,制備步驟如下:1)利用化學(xué)氣相沉積法,在硅襯底上定位橫向生長氧化鋅納米線網(wǎng)結(jié)構(gòu);2)在納米線網(wǎng)結(jié)構(gòu)的兩端制備電極和引線;3)利用甩膠法在納米線網(wǎng)結(jié)構(gòu)上涂覆一層硅膠作為保護(hù)層和振動(dòng)傳導(dǎo)層;4)將帶有氧化鋅納米線網(wǎng)的硅膠從硅襯底上剝離下來。本發(fā)明將半導(dǎo)體壓電材料氧化鋅納米線網(wǎng)作為器件的核心傳感材料,其響應(yīng)速度高,能耐較高溫度,本發(fā)明通過利用橫向生長納米線網(wǎng)具有壓電特性并能將壓力實(shí)時(shí)地轉(zhuǎn)化為電信號的特性,設(shè)計(jì)了一款2×2分布式壓力信號傳感器,本
芯片可以安裝在床墊中,實(shí)施監(jiān)測夜晚睡眠狀態(tài),特別是對于老年人夜間身體健康實(shí)時(shí)檢測具有重要的意義。
聲明:
“基于納米壓電材料的實(shí)時(shí)血壓監(jiān)測傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)