本發(fā)明涉及化學(xué)領(lǐng)域，一種真空反應(yīng)及測(cè)試裝置，包括反應(yīng)腔、觀察窗、液體容器、直線驅(qū)動(dòng)器、冷卻桿、樣品、樣品座、樣品臺(tái)、金屬桿、氣體進(jìn)口、真空泵I、波紋管I、門閥、波紋管II、測(cè)試腔、樣品架、傳送桿、真空泵II和測(cè)試電路，是一種用于薄膜樣品在真空中進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)的真空反應(yīng)及測(cè)試裝置，采用在真空環(huán)境中使得預(yù)先冷凍的試劑融化的方法來(lái)將液態(tài)的試劑直接滴在固態(tài)樣品表面，在需要液態(tài)試劑的反應(yīng)中無(wú)需將固態(tài)樣品轉(zhuǎn)移到真空環(huán)境外或是對(duì)真空腔內(nèi)通入保護(hù)氣體，不會(huì)導(dǎo)致樣品周圍的真空度突然變差，操作過(guò)程簡(jiǎn)單且避免引入雜質(zhì)，本發(fā)明裝置具有簡(jiǎn)單的樣品座轉(zhuǎn)移及固定方法，能夠在樣品進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)后立即用于電學(xué)測(cè)量。