一種n型摻雜ZnO薄膜的快速響應(yīng)紫外探測器的制作方法,屬于光電子信息領(lǐng)域,解決了ZnO光電導探測器響應(yīng)速度比較慢的問題,它包括以下步驟:步驟一,用化學清洗方法將石英襯底清洗干凈;步驟二,在清洗干凈的石英襯底上生長Ga摻雜的ZnO薄膜;步驟三,將生長Ga摻雜的ZnO薄膜放入氧氣氛下退火;步驟四,在退火后的Ga摻雜的ZnO薄膜上蒸鍍兩個Al電極;其結(jié)構(gòu)自下而上依次是:石英襯底,Ga摻雜的ZnO薄膜、兩個Al電極。Ga摻雜的ZnO薄膜組分質(zhì)量比為Ga2O3∶ZnO=(0.5%~3%)∶(97%~99.5%)??捎糜诃h(huán)境保護、火焰探測、天文學觀測、生物醫(yī)學和醫(yī)療衛(wèi)生等領(lǐng)域。
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