一種用于監(jiān)測制造系統(tǒng)中的制造工藝的監(jiān)測裝置。所述監(jiān)測的制造系統(tǒng)包括工藝室和多個流程部件。石英晶體微天平(QCM)傳感器監(jiān)測制造系統(tǒng)的多個流程部件中的一個流程部件,并且被配置用于在制造工藝期間暴露到該一個流程部件中的工藝化學(xué)品。控制器測量由于在制造工藝期間QCM傳感器和該一個流程部件中的工藝化學(xué)品之間的相互作用而導(dǎo)致的QCM傳感器的諧振頻率偏移。控制器確定工藝室中的制造工藝的參數(shù),所述工藝室中的制造工藝的參數(shù)是作為該一個流程部件內(nèi)的QCM傳感器的所測量的諧振頻率偏移的函數(shù)。
聲明:
“用于制造工藝監(jiān)測的石英晶體微天平傳感器及相關(guān)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)