亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 用于制造工藝監(jiān)測的石英晶體微天平傳感器及相關(guān)方法

用于制造工藝監(jiān)測的石英晶體微天平傳感器及相關(guān)方法

942   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:25:59
一種用于監(jiān)測制造系統(tǒng)中的制造工藝的監(jiān)測裝置。所述監(jiān)測的制造系統(tǒng)包括工藝室和多個流程部件。石英晶體微天平(QCM)傳感器監(jiān)測制造系統(tǒng)的多個流程部件中的一個流程部件,并且被配置用于在制造工藝期間暴露到該一個流程部件中的工藝化學(xué)品。控制器測量由于在制造工藝期間QCM傳感器和該一個流程部件中的工藝化學(xué)品之間的相互作用而導(dǎo)致的QCM傳感器的諧振頻率偏移。控制器確定工藝室中的制造工藝的參數(shù),所述工藝室中的制造工藝的參數(shù)是作為該一個流程部件內(nèi)的QCM傳感器的所測量的諧振頻率偏移的函數(shù)。
聲明:
“用于制造工藝監(jiān)測的石英晶體微天平傳感器及相關(guān)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記