本發(fā)明涉及一種基于柔性
鈦金屬絲/氧化鎵納米陣列的日盲紫外探測器及其制備方法,探測器從下至上依次包括下PE保護(hù)膜、柔性Ti金屬絲下電極、TiO
2/β?Ga
2O
3納米柱陣列、
石墨烯/Ag納米線復(fù)合電極、Ag上電極以及上PE保護(hù)膜,其中柔性Ti金屬絲為圓柱體,且所述Ti金屬絲外部有TiO
2,β?Ga
2O
3納米柱位于所述TiO
2頂部,形成TiO
2/β?Ga
2O
3納米柱陣列。本發(fā)明的PN結(jié)結(jié)構(gòu)日盲紫外探測器,具有三維空間結(jié)構(gòu),柔性可彎曲,日盲特性穩(wěn)定,重復(fù)性良好,具有優(yōu)異的化學(xué)和熱穩(wěn)定性,封裝后的器件與襯底結(jié)合力強(qiáng),可大面積制備,重復(fù)性好,有望在可穿戴、便捷式的紫外探測器領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
聲明:
“基于柔性鈦金屬絲/氧化鎵納米陣列的日盲紫外探測器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)